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看了這個(gè),你就知道AMC監(jiān)測(cè)有多重要了

更新時(shí)間:2021-03-04瀏覽:3331次
  隨著集成電路工業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)的發(fā)展越來(lái)越快,不僅在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)設(shè)備的要求越來(lái)越準(zhǔn)確和可靠,而且對(duì)工藝和制造環(huán)境的要求也越來(lái)越高嚴(yán)格。潔凈室是對(duì)環(huán)境敏感的物質(zhì)和產(chǎn)品的過(guò)程制造環(huán)境,主要用于提高產(chǎn)量和產(chǎn)量。但通常會(huì)忽略一些微小的化學(xué)揮發(fā)性氣體,實(shí)際上它們對(duì)許多處理過(guò)程有害,尤其是在集成電路行業(yè)中。因此,為了提供“更清潔”的生產(chǎn)環(huán)境,近年來(lái),機(jī)載分子污染物AMC已逐漸被人們所認(rèn)識(shí)和重??視??赐赀@篇文章后,你將明白AMC監(jiān)測(cè)的重要性。
 

AMC監(jiān)測(cè)

  潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物,AMC,內(nèi)部來(lái)自建筑材料,設(shè)備和材料的釋放,腐蝕和光刻等過(guò)程,化學(xué)物質(zhì)逸出,人員生成,管道泄漏,設(shè)備維護(hù)和維修例如,外部存在于周?chē)諝庵械臍庀辔廴疚锖蜐崈羰业膹U氣排放被送回潔凈室。AMC監(jiān)測(cè)是高科技生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵因素,尤其是在微電子行業(yè)。
  那么,什么是AMC?AMC是指空氣傳播的分子污染,也縮寫(xiě)為“分子污染”。它包括一系列出現(xiàn)在潔凈室空氣中的污染物,它們以氣體,蒸氣和空氣中的粉塵的形式出現(xiàn)?;瘜W(xué)特性可以是有機(jī)或無(wú)機(jī)的;包括酸,堿,聚合物添加劑,有機(jī)金屬化合物,縮合劑和添加劑的特性。
  1、AMC描述了多種化學(xué)類(lèi)型,這些化學(xué)類(lèi)型通常會(huì)導(dǎo)致大量潛在的工藝問(wèn)題。
  2、AMC對(duì)亞微米設(shè)備生產(chǎn)的幾乎任何方面都有影響,基本上貫穿整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程和設(shè)備的終性能。
  3、半導(dǎo)體制造工藝將300mm晶圓,銅互連和設(shè)備組件的尺寸更改為小于0.01微米,這正在加速將相應(yīng)的制造環(huán)境轉(zhuǎn)變?yōu)榉肿游廴荆ˋMC)。
  4、AMC監(jiān)測(cè)已成為所有新型半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)計(jì)要求中的重點(diǎn)之一。
  5、過(guò)多的MC空氣分子污染物將導(dǎo)致一系列嚴(yán)重后果,例如廢棄的威化餅,停產(chǎn)和凈化潔凈室。因此,AMC監(jiān)視非常重要。
 
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